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2021

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真空泵機(jī)組應(yīng)用領(lǐng)域

真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線(xiàn)機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器

　　真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線(xiàn)機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器;③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④醫(yī)療設(shè)備行業(yè):牙科儀器、透析機(jī);生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的最佳配置。它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤(pán)之間、動(dòng)盤(pán)與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。

　　渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，這是其他類(lèi)型的干式真空泵所不具備的。為實(shí)現(xiàn)渦旋泵有效工作的目的，必須使渦旋型線(xiàn)在各個(gè)真空氣腔良好嚙合，避免由于真空腔壓差大等因素導(dǎo)致渦旋壁受力情況惡化、產(chǎn)生熱變形、排氣腔一部分高壓氣體滯留和真空泵效率降低等情況。所以要保證渦旋型線(xiàn)之間的精確包容與嚙合，控制工作介質(zhì)的泄漏，達(dá)到抽氣目的。這是渦旋泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的重要依據(jù)。在泵的抽氣流道中，無(wú)須使用任何油類(lèi)和密封液體作為介質(zhì)，依靠動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)形成吸氣腔和壓縮腔將被抽氣體排出，連續(xù)完成吸氣、壓縮和排氣過(guò)程。因此，如何防止泄漏解決密封的問(wèn)題尤為重要。渦旋泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封，和徑向嚙合間隙的切向密封，即齒側(cè)密封。

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